BET比表面積測定は試料の表面に吸着占有面積の分かったガス分子を吸着させ、その量から試料の比表面積を求め、ガス分子の凝縮から細孔分布を測定する方法である。試料を冷却した後、窒素ガスのように試料と反応を起こしにくいガスを吹き込むと、試料表面にガス分子が吸着する。吹き込むガスの量を増やしていくと、試料表面はガス分子で覆われていき、表面全体がガス分子で覆われた後は、ガス分子の上にガス分子が重なって多層吸着する。この様子は圧力の変化に対する吸着量の変化としてグラフで表現される。一層目の吸着から、多層吸着に移行する過程に対して、「BETの式」を適用することにより、正確に単分子層吸着量を計算することができる。